O obxectivo ten un amplo mercado, área de aplicación e gran desenvolvemento no futuro.Para axudarche a comprender mellor as funcións de destino, a continuación o enxeñeiro de RSM presentará brevemente os principais requisitos funcionais do destino.
Pureza: a pureza é un dos principais indicadores funcionais do obxectivo, porque a pureza do obxectivo ten un gran impacto na función da película.Non obstante, na aplicación práctica, os requisitos de pureza do obxectivo tamén son diferentes.Por exemplo, co rápido desenvolvemento da industria da microelectrónica, o tamaño da oblea de silicio amplíase de 6 "a 8" a 12 ", e o ancho do cableado redúcese de 0,5um a 0,25um, 0,18um ou mesmo 0,13um.Anteriormente, o 99,995% da pureza obxectivo pode cumprir os requisitos do proceso de 0,35 um, mentres que a preparación de liñas de 0,18 um require o 99,999% ou mesmo o 99,9999% da pureza obxectivo.
Contido de impurezas: as impurezas nos sólidos obxectivo e o osíxeno e o vapor de auga nos poros son as principais fontes de contaminación das películas depositadas.Os obxectivos para diferentes fins teñen requisitos diferentes para diferentes contidos de impurezas.Por exemplo, os obxectivos de aluminio puro e aliaxes de aluminio utilizados na industria de semicondutores teñen requisitos especiais para o contido de metal alcalino e o contido de elementos radioactivos.
Densidade: para reducir os poros do sólido obxectivo e mellorar a función da película de pulverización catódica, normalmente esíxese que o obxectivo teña unha alta densidade.A densidade do obxectivo non só afecta a taxa de pulverización, senón que tamén afecta ás funcións eléctricas e ópticas da película.Canto maior sexa a densidade do obxectivo, mellor será a función da película.Ademais, a densidade e a forza do obxectivo mellóranse para que o obxectivo poida aceptar mellor o estrés térmico no proceso de pulverización.A densidade tamén é un dos principais indicadores funcionais do obxectivo.
Hora de publicación: 20-mai-2022