cales son os factores que afectan a calidade obxectivo

　 Co desenvolvemento da tecnoloxía industrial, a calidade dos obxectivos necesarios para a produción industrial tamén é cada vez maior, porque a calidade dos obxectivos afecta directamente o rendemento das películas de magnetrón.Hoxe en día, as empresas xeralmente prefiren usar obxectivos de alta densidade cunha estrutura de composición uniforme para o revestimento de pulverización catódica cando compran obxectivos, para reducir a sutura múltiple dos obxectivos e mellorar a calidade dos revestimentos de pulverización catódica. controlar a calidade do target.Agora deixe editor de PequínRichmatlevalo a comprender que factores afectan á calidade do obxectivo.

1、A influencia dos parámetros do proceso na calidade do obxectivo

Os parámetros do proceso inclúen principalmente presión de prensado en frío, velocidade de presurización e velocidade de desmoldeo e outros parámetros.Cando o obxectivo é prensado en frío, a presión afectará directamente a calidade do branco obxectivo;A velocidade de presurización ten un gran impacto na estratificación do branco obxectivo, e o estado inicial cando o po se enche uniformemente no molde negativo é un estado laxo, que ten moitos poros e gases, e a descarga de gases leva un período de tempo.

2、OInfluencia do mofo na calidade obxectivo

O molde tamén ten unha certa influencia na formación do branco obxectivo.Os principais factores que inflúen inclúen o acabado superficial do lado interior do molde, a brecha entre o punzón e a cavidade do molde, etc. a baixa en branco, e problemas de calidade como a caída do bordo durante o desmoldeo.　

3、O efecto do contido de humidade do material sobre a calidade do obxectivo

　　A humidade contida no po do material obxectivo é equivalente ao efecto do lubricante, e a súa presenza pode reducir a fricción entre as partículas, o que favorece a transmisión efectiva da presión de prensado en frío e tamén favorece un deslizamento suave e reordenación entre as partículas de po.Non obstante, cando o contido de auga é demasiado pequeno ou demasiado, afectará a calidade do obxectivo.

Cando o contido de auga no po de ITO é inferior ao 2%, a probabilidade de problemas de calidade, como a perda de bordos e a delaminación do material obxectivo, aumentará moito cando outras condicións, como a presión de prensado en frío e o contido de aglutinante sexan iguais. Cando a auga O contido do po de ITO é superior ao 10%, baixo a mesma presión de prensado en frío, contido de aglutinante e outras condicións, aínda que as partículas de po se esvaran e se reorganizan con máis facilidade, a auga descárgase do interior do molde, o que provocará o problema de caer. bordos ao redor do espazo en branco do material obxectivo.Os resultados mostran que cando o contido de auga do po está entre o 3% e o 6%, a calidade do branco está efectivamente controlada.

4、Efecto do contido do aglutinante na calidade do obxectivo

　　A cantidade de aglutinante incorporada ten un gran impacto na calidade do material obxectivo.Cando a cantidade de incorporación é inferior ao 1%, o branco obxectivo terá un problema de calidade moi grave, neste momento, o efecto do aglutinante non se mostra e ten pouco efecto na mellora da forza do branco obxectivo. o aumento da incorporación do aglutinante ao 2% e ao 3%, mellora a resistencia do material obxectivo e redúcese moito o problema de calidade do material obxectivo.Non obstante, cando o aglutinante se incorpora ao 4%, aínda que desaparece o problema de calidade do branco prensado en frío do material obxectivo, o material obxectivo ocasionalmente se delamina durante o proceso de desmoldeo posterior.