1, Preparación para pulverización
É moi importante manter limpa a cámara de baleiro, especialmente o sistema de pulverización.Calquera residuo formado polo aceite lubricante, o po e o revestimento previo recollerá vapor de auga e outros contaminantes, o que afectará directamente o grao de baleiro e aumentará a posibilidade de falla de formación de película.O curtocircuíto ou o arco do obxectivo, a superficie áspera da película e o contido excesivo de impurezas químicas adoitan ser causados pola cámara de pulverización, a pistola de pulverización e o obxectivo impuros.Para cumprir as características de composición do revestimento, é necesario limpar e secar o gas de pulverización catódica (argón ou osíxeno).Despois de que o substrato se instale na cámara de pulverización, é necesario extraer o aire para alcanzar o baleiro requirido polo proceso.Tamén se debe manter limpa a cuberta de protección na zona escura, a parede da cavidade e a superficie adxacente.Ao limpar a cámara de baleiro, recomendamos usar granallado con bola de vidro para tratar as partes poeirentas, xunto con aire comprimido para eliminar os primeiros residuos de pulverización catódica ao redor da cámara, e despois pulir tranquilamente a superficie externa con papel de lixa impregnado de alúmina.Despois de pulir o papel de gasa, límpase con alcohol, acetona e auga desionizada.En conxunto, defende o uso de aspiradores industriais para a limpeza auxiliar.Os obxectivos producidos polo metal Gaozhan están embalados en bolsas de plástico seladas ao baleiro,
Construído en axente a proba de humidade.Cando use o obxectivo, non o toque directamente coa man.Nota: cando use o obxectivo, use luvas de mantemento limpas e sen pelusa.Nunca toque o obxectivo directamente coas mans
2, limpeza de obxectivos
O obxectivo da limpeza do obxectivo é eliminar o po ou a sucidade que poida existir na superficie do obxectivo.
O obxectivo metálico pódese limpar en catro pasos,
O primeiro paso é limpar cun pano suave sen pelusa empapado en acetona;
O segundo paso é semellante ao primeiro paso, a limpeza con alcohol;
Paso 3: limpar con auga desionizada.Despois de lavar con auga desionizada, coloque o obxectivo no forno e séqueo a 100 ℃ durante 30 minutos.
A limpeza dos obxectivos de óxido e cerámica realizarase con "pano sen pelusa".
O cuarto paso é lavar o obxectivo con argón con alta presión e gas de auga baixa despois de eliminar a zona poeirenta, para eliminar todas as partículas de impurezas que poidan formar arco no sistema de pulverización.
3, Dispositivo de destino
No proceso de instalación do obxectivo, Z precaucións importantes son garantir unha boa conexión de condución térmica entre o obxectivo e a parede de arrefriamento da pistola de pulverización.Se a deformación da pestaña de refrixeración é grave ou a deformación da placa traseira é grave, o dispositivo de destino racharase ou dobrarase e a condutividade térmica do obxectivo traseiro ao obxectivo verase moi afectada, o que provocará un fallo na disipación da calor. no proceso de pulverización, e o obxectivo racharase ou fallará
Para garantir a condutividade térmica, pódese cubrir unha capa de papel de grafito entre a parede de refrixeración do cátodo e o obxectivo.Preste atención a comprobar e deixar clara a planitude da parede de refrixeración da pistola de pulverización catódica utilizada para garantir que a junta tórica estea sempre no seu lugar.
Dado que a limpeza da auga de refrixeración utilizada e o po que pode ocorrer durante o funcionamento do equipo depositaranse no depósito de auga de refrixeración do cátodo, é necesario comprobar e limpar o depósito de auga de refrixeración do cátodo ao instalar o obxectivo para garantir a suavidade. circulación de auga de refrixeración e que a entrada e a saída non se obstruyan.
Algúns cátodos están previstos para ter un pequeno espazo co ánodo, polo que ao instalar o obxectivo, é necesario asegurarse de que non haxa contacto ou condutor entre o cátodo e o ánodo, se non, producirase un curtocircuíto.
Consulte o Manual do operador do equipo para obter información sobre como operar correctamente o obxectivo.Se non hai tal información no manual de usuario, intente instalar o dispositivo segundo as suxestións relevantes proporcionadas por Gaozhan metal.Ao apertar o dispositivo de destino, primeiro aperte un parafuso coa man e despois aperte outro parafuso na diagonal coa man.Repita isto ata que todos os parafusos do dispositivo estean apertados e, a continuación, aperte con algo.
4, Inspección de curtocircuítos e estanquidade
Despois de completar o dispositivo de destino, é necesario comprobar o curtocircuíto e a estanquidade de todo o cátodo,
Proponse determinar se hai un curtocircuíto no cátodo mediante un medidor de resistencia
Discriminación de filas.Despois de confirmar que non hai curtocircuíto no cátodo, pódese realizar a detección de fugas e introducir auga no cátodo para confirmar se hai fugas de auga.
5, obxectivo pre sputtering
A sputtering previa ao obxectivo defende a sputtering de argón puro, que pode limpar a superficie do obxectivo.Cando o obxectivo está pre-sputtering, recoméndase aumentar lentamente a potencia de sputtering e a taxa de aumento de potencia do obxectivo cerámico é de 1,5 WH/cm2.A velocidade de pulverización previa do obxectivo metálico pode ser superior á do bloque de obxectivos de cerámica e unha taxa de aumento de potencia razoable é de 1,5 WH/cm2.
No proceso de pre sputtering, necesitamos comprobar o arco do obxectivo.O tempo previo á pulverización é xeralmente duns 10 minutos.Se non hai un fenómeno de arco, aumenta continuamente a potencia de pulverización
Á potencia establecida.Segundo a experiencia, o alto poder de pulverización catódica Z aceptable do obxectivo metálico é
25 vatios/cm2, 10 vatios/cm2 para branco cerámico.Consulte a base de configuración e a experiencia da presión da cámara de baleiro durante a pulverización no manual de operación do sistema do usuario.Xeralmente, debe asegurarse de que a temperatura da auga na saída da auga de refrixeración debe ser inferior a 35 ℃, pero Z é importante asegurarse de que o sistema de circulación da auga de refrixeración poida funcionar de forma eficaz.
A rápida circulación da auga de superenfriamento quita a calor, que é unha garantía importante para garantir unha pulverización continua con alta potencia.Para obxectivos metálicos, xeralmente recoméndase que o fluxo de auga de refrixeración sexa
A presión da auga de 20 lpm é de aproximadamente 5 gmp;Para obxectivos de cerámica, en xeral recoméndase que o fluxo de auga sexa de 30 lpm e a presión da auga sexa de aproximadamente 9 gmp.
6, mantemento obxectivo
Para evitar curtocircuítos e arcos causados pola cavidade impura no proceso de pulverización, é necesario eliminar a pulverización catódica acumulada no centro e a ambos os dous lados da pista de pulverización por etapas.
Isto tamén axuda aos usuarios a pulverizar continuamente a alta densidade de potencia z
7, Almacenamento de destino
Os obxectivos proporcionados por Gaozhan metal están empaquetados en bolsas plásticas ao baleiro de dobre capa.Defendemos que os usuarios manteñan os obxectivos, xa sexan metálicos ou cerámicos, en envases ao baleiro.En particular, os obxectivos de unión deben almacenarse en condicións de baleiro para evitar que a oxidación da capa de unión afecte á calidade da unión.No que se refire ao envasado de brancos metálicos, defendemos que Z se envase en bolsas de plástico limpas
Hora de publicación: 13-maio-2022