A aplicación e o principio do obxectivo de pulverización

Sobre a aplicación e o principio da tecnoloxía de destino de pulverización, algúns clientes consultaron a RSM, agora por este problema que máis preocupa, os expertos técnicos comparten algúns coñecementos específicos relacionados.

　　Aplicación de destino de pulverización catódica:

As partículas de carga (como os ións de argón) bombardean unha superficie sólida, provocando que as partículas superficiais, como átomos, moléculas ou feixes escapen da superficie do obxecto, un fenómeno chamado "sputtering".No revestimento de magnetrón, os ións positivos xerados pola ionización de argón adoitan usarse para bombardear o sólido (obxectivo), e os átomos neutros pulverizados son depositados no substrato (peça de traballo) para formar unha capa de película.O revestimento por pulverización catódica con magnetrón ten dúas características: "baixa temperatura" e "rápido".

　　Principio de pulverización catódica con magnetrón:

Engádese un campo magnético ortogonal e un campo eléctrico entre o polo obxectivo (cátodo) e o ánodo, e o gas inerte necesario (normalmente gas Ar) énchese na cámara de baleiro alto.O imán permanente forma un campo magnético de 250-350 Gauss na superficie do material obxectivo, e forma un campo electromagnético ortogonal co campo eléctrico de alta tensión.

Baixo a acción do campo eléctrico, o gas Ar ionízase en ións positivos e electróns, e hai unha certa alta presión negativa no obxectivo, polo que os electróns emitidos dende o polo obxectivo vense afectados polo campo magnético e a probabilidade de ionización do traballo. aumenta o gas.Fórmase un plasma de alta densidade preto do cátodo, e os ións de Ar aceleran ata a superficie do obxectivo baixo a acción da forza de Lorentz e bombardean a superficie do obxectivo a gran velocidade, de xeito que os átomos pulverizados no obxectivo escapan da superficie do obxectivo con altas velocidades. enerxía cinética e voar ao substrato para formar unha película segundo o principio de conversión do momento.

A sputtering con magnetrón divídese xeralmente en dous tipos: sputtering DC e sputtering RF.O principio do equipo de sputtering DC é sinxelo e a velocidade é rápida ao pulverizar metal.O uso da pulverización de RF é máis extenso, ademais da pulverización de materiais condutores, pero tamén de materiais non condutores de pulverización, pero tamén de preparación de pulverización reactiva de óxidos, nitruros e carburos e outros materiais compostos.Se a frecuencia de RF aumenta, convértese en pulverización de plasma de microondas.Na actualidade, a resonancia de ciclotrón electrónico (ECR) úsase habitualmente a pulverización catódica de plasma de microondas.