Obxectivos de pulverización con encadernación do taboleiro

Proceso de encadernación do taboleiro:

1、 Que é a vinculación vinculante?Refírese ao uso de soldadura para soldar o material obxectivo ao obxectivo traseiro.Hai tres métodos principais: prensado, soldadura e adhesivo condutor.A unión de obxectivos úsase habitualmente para a soldadura, e os materiais de soldadura inclúen normalmente In, Sn e In Sn.Xeralmente, cando se usan materiais de soldadura suave, a potencia de pulverización catódica debe ser inferior a 20 W/cm2.

2、 Por que unirse 1. Evitar a fragmentación desigual dos materiais obxectivo durante o quecemento, como obxectivos fráxiles como ITO, SiO2, cerámica e obxectivos sinterizados;2. Garda * * * e evita a deformación.Se o material obxectivo é demasiado caro, pódese facer máis fino e unido ao obxectivo traseiro para evitar a deformación.

3、 Selección do obxectivo traseiro: 1. Rich Special Materials Co., Ltd. usa habitualmente cobre sen osíxeno cunha boa condutividade, e a condutividade térmica do cobre sen osíxeno é mellor que a do cobre vermello;2. O grosor é moderado e, en xeral, recoméndase ter un grosor de obxectivo traseiro duns 3 mm.Demasiado groso, consumindo algo de forza magnética;Demasiado delgado, fácil de deformar.

4、 Proceso de encadernación 1. Tratar previamente a superficie do material obxectivo e o obxectivo traseiro antes de encadenar.2. Coloque o material obxectivo e o obxectivo traseiro nunha plataforma de soldadura e eleve a temperatura ata a temperatura de unión.3. Metaliza o material obxectivo e o obxectivo traseiro.4. Pegue o material obxectivo e o obxectivo traseiro.5. Refrixeración e posprocesamento.

5、 Precaucións para o uso de obxectivos limitados: 1. A temperatura de pulverización non debe ser demasiado alta.2. A corrente debe ir aumentando lentamente.3. A auga de refrixeración circulante debe estar por debaixo dos 35 graos centígrados.4. Densidade obxectivo axeitada

6、 O motivo da separación da placa traseira é que a temperatura de pulverización é alta e o obxectivo traseiro é propenso á oxidación e deformación.O material obxectivo racharase durante a pulverización catódica a alta temperatura, facendo que o obxectivo traseiro se desprenda;2. A corrente é demasiado alta e a condución da calor é demasiado rápida, o que fai que a temperatura sexa demasiado alta e a soldadura se derrita, o que provoca unha soldadura irregular e un desprendemento do obxectivo traseiro;3. A temperatura da saída da auga de refrixeración circulante debe ser inferior a 35 graos centígrados, e a alta temperatura da auga circulante pode provocar unha mala disipación e desprendimento da calor;4. A densidade do material obxectivo en si, cando a densidade do material obxectivo é moi alta, non é fácil de adsorber, non hai ocos e o obxectivo traseiro é fácil de caer.