Na actualidade, case todos os obxectivos de cobre metálico de alta pureza ultra-alta requiridos pola industria IC están monopolizados por varias grandes empresas multinacionais estranxeiras.Deben importarse todos os obxectivos de cobre ultrapuro que necesita a industria doméstica de IC, o que non só é caro, senón que tamén é complicado nos procedementos de importación. Polo tanto, China precisa de urxencia mellorar o desenvolvemento e verificación de obxectivos de pulverización catódica de cobre de ultra-alta pureza (6N). .Vexamos os puntos clave e as dificultades no desenvolvemento de obxectivos de pulverización catódica de cobre de ultra-alta pureza (6N).
1、Desenvolvemento de materiais de ultra alta pureza
A tecnoloxía de purificación de metais de alta pureza Cu, Al e Ta en China está lonxe da dos países industriais desenvolvidos.Na actualidade, a maioría dos metais de alta pureza que se poden proporcionar non poden cumprir os requisitos de calidade dos circuítos integrados para obxectivos de pulverización catódica segundo os métodos convencionais de análise de todos os elementos da industria.O número de inclusións no obxectivo é demasiado alto ou está distribuído de forma desigual.As partículas adoitan formarse na oblea durante a pulverización catódica, o que provoca un curtocircuíto ou un circuíto aberto de interconexión, o que afecta seriamente o rendemento da película.
2、Desenvolvemento da tecnoloxía de preparación de obxectivos de pulverización catódica de cobre
O desenvolvemento da tecnoloxía de preparación de obxectivos de pulverización de cobre céntrase principalmente en tres aspectos: tamaño do gran, control da orientación e uniformidade.A industria de semicondutores ten os requisitos máis altos para obxectivos de pulverización e evaporación de materias primas.Ten requisitos moi estritos para o control do tamaño do gran da superficie e da orientación do cristal do obxectivo.O tamaño de gran do obxectivo debe controlarse a 100μ M abaixo, polo tanto, o control do tamaño dos grans e os medios de análise e detección de correlación son moi importantes para o desenvolvemento de brancos metálicos.
3、Desenvolvemento da análise eprobando tecnoloxía
A alta pureza do obxectivo significa a redución de impurezas.No pasado, utilizábase plasma acoplado inductivamente (ICP) e espectrometría de absorción atómica para determinar as impurezas, pero nos últimos anos, a análise de calidade de descarga luminosa (GDMS) con maior sensibilidade utilizouse gradualmente como estándar. método.O método RRR de relación de resistencia residual úsase principalmente para a determinación da pureza eléctrica.O seu principio de determinación é avaliar a pureza do metal base medindo o grao de dispersión electrónica de impurezas.Porque se trata de medir a resistencia a temperatura ambiente e temperatura moi baixa, é sinxelo tomar o número.Nos últimos anos, para explorar a esencia dos metais, a investigación sobre pureza ultra alta é moi activa.Neste caso, o valor RRR é a mellor forma de avaliar a pureza.
Hora de publicación: maio-06-2022