Nos últimos anos, co progreso da tecnoloxía de circuítos integrados (IC), as aplicacións relacionadas dos circuítos integrados desenvolvéronse rapidamente.O obxectivo de pulverización catódica de aliaxe de aluminio de pureza ultra alta, como material de apoio na fabricación de interconexións metálicas de circuítos integrados, converteuse nun tema candente nas investigacións domésticas recentes.o editor de RSM amosaranos as características do obxectivo de pulverización catódica de aliaxe de aluminio de alta pureza.
Co fin de mellorar aínda máis a eficiencia de pulverización catódica do magnetrón e garantir a calidade das películas depositadas, un gran número de experimentos demostran que existen certos requisitos para a composición, a microestrutura e a orientación do gran do obxectivo de pulverización catódica de aliaxe de aluminio de ultra-alta pureza.
O tamaño do gran e a orientación do gran do obxectivo teñen unha gran influencia na preparación e propiedades das películas IC.Os resultados mostran que a taxa de deposición diminúe co aumento do tamaño dos grans;Para o obxectivo de pulverización catódica coa mesma composición, a taxa de pulverización do branco cun tamaño de gran pequeno é máis rápida que a do obxectivo con gran tamaño;Canto máis uniforme sexa o tamaño do gran do obxectivo, máis uniforme será a distribución do espesor das películas depositadas.
Baixo o mesmo instrumento de pulverización e parámetros de proceso, a taxa de pulverización do obxectivo de aliaxe Al Cu aumenta co aumento da densidade atómica, pero xeralmente é estable nun intervalo.O efecto do tamaño do gran na taxa de pulverización catódica débese ao cambio da densidade atómica co cambio do tamaño do gran;A taxa de deposición está afectada principalmente pola orientación do gran do obxectivo de aliaxe de Al Cu.Sobre a base de garantir a proporción de (200) planos de cristal, o aumento da proporción de (111), (220) e (311) planos de cristal aumentará a taxa de deposición.
O tamaño e a orientación do gran dos obxectivos de aliaxe de aluminio de pureza ultra alta axústanse e controlan principalmente a homoxeneización do lingote, o traballo en quente e o recocido de recristalización.Co desenvolvemento do tamaño da oblea a 20,32 cm (8 polgadas) e 30,48 cm (12 polgadas), o tamaño do obxectivo tamén está aumentando, o que presenta requisitos máis elevados para os obxectivos de pulverización catódica de aliaxe de aluminio de pureza ultra alta.Co fin de garantir a calidade e o rendemento da película, os parámetros de procesamento obxectivo deben controlarse estritamente para que a microestrutura obxectivo sexa uniforme e a orientación do gran debe ter texturas planas fortes (200) e (220).
Hora de publicación: 30-Xun-2022