Vantaxes dos obxectivos de pulverización catódica de magnetróns cilíndricos e planos

O consultor técnico de RSM compartirá contigo as vantaxes dos obxectivos cilíndricos e planos de pulverización catódica de magnetrón?En comparación con outros obxectivos de pulverización catódica con magnetrón, os obxectivos cilíndricos e planos de magnetrón conservan as vantaxes dunha boa uniformidade de revestimento dos obxectivos planos rectangulares e poden maximizar a utilización dos obxectivos a través das dúas seguintes formas:

(1) Cando os dous grupos (catro) de pozos anulares na superficie do obxectivo alcanzan unha certa profundidade, o núcleo obxectivo (parte do imán) pódese xirar 45 ° en relación ao tubo obxectivo, de xeito que outras áreas do tubo obxectivo. que non foron corroídos pódense utilizar;

(2) Cando o núcleo obxectivo do obxectivo cilíndrico e planar de pulverización de magnetrón está deseñado como un núcleo de destino rotativo (o núcleo obxectivo está xirando durante a pulverización catódica), a superficie do obxectivo pódese pulverizar uniformemente capa por capa sen fosas.Neste momento, o obxectivo será usado de forma máis eficaz e a taxa de utilización do obxectivo pode alcanzar o 50% ~ 60% Cando o material obxectivo é metal precioso, isto é obviamente de gran importancia.

Usando o principio de imán con zapata polar nun obxectivo de pulverización de magnetrón cilíndrico coaxial para resolver o problema do campo magnético final, o obxectivo de plano rectangular pódese transformar nun obxectivo de pulverización de magnetrón cilíndrico e plano, o obxectivo pode maximizar a taxa de utilización do obxectivo. mantendo a boa uniformidade de revestimento do plano rectangular obxectivo Para mellorar os beneficios económicos.